法米特質量流量計可以測量微小氣體流量，但需根據具體型號和測量需求選擇。以下是關鍵要點：

核心原理

質量流量計通過直接測量流體質量流量，原理與流體種類（氣體/液體）無關。其核心在于高精度傳感器（如 MEMS芯片 ），可實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性測量。 ?

適用場景

?微小氣體流量?： MF4000系列 （3-8mm管徑）和 M2030系列 （5-35000ml/min量程）等微型流量計，專為微小氣體流量設計，支持低流速（如0.1kg/h）和細管徑（如1mm）測量。 ?

?高精度需求?： 科里奧利質量流量計 （如1mm管路）可實現(xiàn)±0.25%滿量程的重復精度，適用于實驗室及工業(yè)精密測量。 ?

注意事項

?介質兼容性?：需確認設備材質是否耐受腐蝕性或高粘度介質（如氫氟酸、硅油）。 ?

?接口適配性?：細管徑（如DN1）需匹配高精度接口，避免流體擾動或泄漏。 ?

綜上，質量流量計在微小氣體流量測量中具有顯著優(yōu)勢，但需結合具體設備參數(shù)和工況選擇。