十六氟化硫（SF6）氣體，因其無色無味且具有高全球變暖潛能，在電氣行業(yè)中常用作絕緣和電弧熄滅介質(zhì)。為精確測量其流量，需選用合適的流量計。以下介紹幾種適用于SF6氣體的流量計及其特性：

1、法米特?zé)崾搅髁坑嫞夯跓醾鬟f原理，通過測量氣體流過傳感器時帶走的熱量來確定流量。它對氣體壓力和溫度變化不敏感，非常適合測量密度較大的SF6氣體。

2、法米特科里奧利質(zhì)量流量計：利用流體在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中產(chǎn)生的科里奧利效應(yīng)直接測量質(zhì)量流量，不受流體溫度、壓力、粘度和密度影響，對SF6氣體測量十分準(zhǔn)確。

3、法米特超聲波流量計：利用聲波在流體中的傳播速度差異來測定流速，可無接觸測量，適用于腐蝕性或高純度氣體，且不受流體參數(shù)影響。