半導體濕法清洗機常用?超聲波流量計?和?質(zhì)量流量計?，具體選擇需結(jié)合工藝需求：

法米特超聲波流量計

?應用場景?：適用于清洗液含腐蝕性化學品的場景，需具備耐高溫（80℃以下）和耐腐蝕性，通常采用不銹鋼或特殊合金材質(zhì)。 ?

?技術(shù)特點?：通過夾鉗式安裝方式實現(xiàn)快速拆裝，支持自動化集成，可實時監(jiān)控流量波動以確保清洗精度。 ?

法米特質(zhì)量流量計

?應用場景?：在氣體輸送環(huán)節(jié)（如H?O?、HF等化學氣體）中，需精確控制流量偏差≤±0.2%以避免工藝失效。 ?

?技術(shù)特點?：采用AI算法優(yōu)化參數(shù)，與DCS系統(tǒng)聯(lián)動實現(xiàn)遠程校準，支持高溫（300℃）和腐蝕性氣體環(huán)境。 ?

選型建議

?介質(zhì)特性?：確認清洗液/氣體成分、溫度范圍（如≤80℃或＞300℃）及腐蝕性。

?精度需求?：晶圓加工需±0.2%精度，封裝測試可接受±1%精度。

?安裝方式?：優(yōu)先選擇模塊化設(shè)計（如即插即用傳感器），減少停機時間。