半導體行業(yè)主要使用?氣體質(zhì)量流量計?和?電磁流量計?，具體選擇需根據(jù)工藝場景和介質(zhì)特性決定：

法米特氣體質(zhì)量流量計

適用于晶圓加工、離子注入、真空封裝等工藝，需高精度控制氣體流量以確保工藝穩(wěn)定性。例如：

?濕法蝕刻工藝?：精確控制HF、H?O?等化學氣體的流量，避免蝕刻不足或過蝕。 ?

?離子注入工藝?：監(jiān)測Ar等惰性氣體流量，維持離子源穩(wěn)定性。 ?

?真空封裝測試?：配合壓力傳感器實現(xiàn)動態(tài)補償，防止外部氣體滲入導致氧化失效。 ?

法米特電磁流量計

在晶圓級封裝等場景中，電磁流量計可監(jiān)測N?保護氣體等流體，但其應用更多集中在氣體質(zhì)量流量計的上下游工藝環(huán)節(jié)。